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Jun 02, 2023

タイトな人に会う

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2018 年に MIT.nano が 12 号館 (現在はリサ T. スー ビルディング) にオープンしたとき、それは、以前は 39 号館にあったものも含め、一連のナノスケール特性評価および製造装置の MIT の新しい本拠地となりました。 MIT.nano は、これらのツールや機器とともに移動し、合わせて 400 年を超える MIT と技術的経験の宝庫ともなりました。

MIT.nano の研究スタッフと技術者の中心グループは、39 号館のマイクロシステム技術研究所 (MTL) とナノ構造研究所 (NSL) で長年勤務してきた人々です。 チーム全体が施設全体のプロセスと装置に関する専門知識を持っていますが、彼らの役割は大きく次の分野に分かれています。Bob Bicchieri、Donal Jamieson、Eric Lim、Gary Riggott は主に材料のエッチングと蒸着のための真空装置をサポートします。 Mark Mondol、Scott Poesse、Dave Terry、Paul Tierney、Dennis Ward は、リソグラフィーと化学処理の専門家です。 Kurt Broderick と Jim Daley は、製造および特性評価プロセスを幅広くサポートします。 Dan Adams、Paul McGrath、Tim Turner が建物とインフラストラクチャをサポートしています。 ルドミラ・レオパルデは財務責任者を務めています。

これらのスタッフは、肩書きの裏でさまざまな役割を果たしています。 彼らは教育者であり安全ガイドであり、トレーニング中のユーザーにとって最初の訪問先です。 100万ドル以上かかる高度なツールの実行と修理の専門家。 そして技術的な知識の宝庫。 2018 年に建設が完了した後、それらは、パンデミックを通じて他の研究所から MIT.nano への運用の移行を乗り越え、運用施設として MIT.nano の開発を成功させるために不可欠でした。 それに加えて、彼らは寛大な同僚であり、真の友人です。

「これらの個人は、すべてをまとめる接着剤です」と MIT.nano の運用アシスタント ディレクターである Kristofor Payer 氏は説明します。 「過去5年間を見てください。彼らはコロナ禍でも2つの建物を率いてきましたが、一度もボールを落としませんでした。」

経験に代わるものはありません

ユーザーが目的を達成できるよう支援する際、スタッフは 5 年、10 年、さらには 20 年前に開発されたプロセスに関する深い知識だけでなく、現在ラボで行われている幅広い作業についての認識も活用しています。

「私たちのチームは、部門横断的な施設を構築しました」と、MIT.nano 所長で新興技術のファリボルズ・マゼー教授であるウラジミール・ブロヴィッチ氏は語ります。 「私たちは、電気工学、生物学、化学工学、その他多くの分野のユーザーのニーズをサポートしています。これらの研究者は独自の視点と知識を持ち込んでおり、MIT.nano スタッフは「技術的な多言語」としてこのコミュニティを結び付けています。」

学生の間でよくある誤解は、科学論文で読んだ方法論が、異なる施設の異なる条件下で正確に再現できるというものです。 現実はもっと複雑だ、と2003年から真空の専門家でありMITのスタッフでもあるドナル・ジェイミソン氏は言う。しかし、「我々は現時点で非常に多くの経験を積んでいるので、彼らが何を達成しようとしているのかを説明してくれる限り、我々はこう言うことができる」私たちはそれをやりました、私たちにはそれができます。」

物事が計画どおりに進まない場合には、これらのトラブルシューティングツールがそばにいてほしいと考えます。 1995 年からマサチューセッツ工科大学でリソグラフィーの専門家を務めるスコット・ポエッセ氏は、「ダウンした機械を元に戻せるという感覚が大好きです。壊れたものを探して直すということが、私の原動力の 1 つです。」と語ります。

「車がどのように機能するかを知るためだけに車を分解するわけではありません」と、最近 MIT 勤務 40 周年を祝ったボブ・ビッキエリ氏は言います。 「何か問題が発生したときにそうすることで、そのたびにマシンについての理解を深めることができます。」

2001 年から MIT でリソグラフィーのサポートを提供している Dave Terry 氏は、「活動が長くなり、乗り越えた障害が多ければ多いほど、これらの障害に対処する方法についての集合的な知識が増えます」と付け加えます。

クリーンルームにおける教育とイノベーション

ヴィッキー・ディアディウク '73、ScD '78 は、39 号館の MTL クリーンルームとスタッフを 27 年間監督した後、最近退職しました。彼女は何年もの間、学生と学生の交流を見守り、彼らを教育者として分類することに躊躇しませんでした。 「彼らは研究室での正しい行動を教えています。機械が何をするのか、なぜそれが役に立つのかを教えています。ですから間違いなく、彼らはインストラクターであり、指導者であり、模範なのです。」

研究のスペシャリストであるジム・デイリーが 27 年間学生たちと協力してきた中で最も高く評価している質問は、「『ねえ、ジム、もしそのツールが壊れたら、直すのを手伝ってもいいですか？』」です。 物事の裏も表も本当に知りたいと思っている人たちは、より大きくより良いものを目指して進んでいる人たちです」と彼は言います。

学生と対話するとき、スタッフメンバーは、プロセスの各ステップを計画および追跡するための規律を備えた系統的な思考を求めます。また、モデル化することはできても簡単に教えることはできない柔軟性と創造性も求めます。 リソグラフィー チームのメンバーであるデニス ウォードは、2000 年に MIT に来て以来、型破りなアイデアを決して無視してはいけないことを学びました。 彼は、ある学生、ルイス ベラスケス ガルシア SM '01、PhD '04 が、3D 押し出し構造の代わりに、まるで紙人形のように、スロットがパチッとはまる 2D 構造を製造できるのではないかと提案したときのことを思い出します。 アイデアも学生もうまくいきました。これらの 2D 構造のバージョンは現在、衛星のスラスターに使用されており、ベラスケス ガルシア氏は現在 MTL の主任研究員です。

スタッフらは、量子ドットディスプレイや折りたたみ式ガラススクリーンから、車のエアバッグからビデオゲームコントローラー、多くの生物医学機器に至るまで、あらゆるものに使用されるMEMS加速度計に至るまで、MITの研究所で部分的に開発され、今では成功を収めている他のテクノロジーについて回想している。

「それがあなたを前進させる原動力です」とウォードは言う。 「誰かが何かを言うと、最初に思うのは『それはおかしい。これはうまくいくのか、うまくいかないのか？』ということだ。」 それが実現すると、とてもやりがいがあります。」

スタッフ自身から既成概念にとらわれない考え方が生まれることもあります。 Ward 氏は、一部のユーザーが MTL のツールでは対応できない方法でウェーハ上の深いフィーチャーを保護する必要があったときのことを思い出します。 彼はケンブリッジのセントラルスクエアにある手工芸品店に行きました。 「私たちはビーチで T シャツを作るために使用するようなエア ペンを入手しました。それを使ってレジストを噴霧してスプレーしました」と彼は思い出します。

継続と変化

MIT.nano スタッフの多くが最初にチームとして固まった MTL 施設では、必要性が実践的な創意工夫の母でした。 大きな工具は窓から出入りしていました。 装備が重すぎて 1 人で移動できない場合は、5 人が飛び込んで手伝います。

「それは私がいつも気に入っていたことの 1 つです」と、2001 年に MTL に入社したプロジェクト技術者のティム ターナーは言います。「『できない』ということはありませんでした。」 それはただ「どうやって」です。」

過去 5 年間は、「方法」を新たな領域に押し上げました。 MIT.nano の開設には、進行中の研究を中断することなく、機器の再配置、新しいツールや器具の設置、建設プロジェクトの調整、新しい空間への人々の順応など、かなりの課題が生じました。 そして、作戦開始から 1 年も経たないうちに、チームはパンデミックの最中にどうやって作戦を実行するかを考え出す必要がありました。 閉鎖中、チームのメンバーはシフトをずらして MIT.nano に来て、機器や研究室が正常に動作し、安全であることを確認しました。 そして 2020 年 6 月には、MIT.nano の技術スタッフが最初にフルタイムでキャンパスに戻り、研究者が仕事を再開できるようになりました。

それ以来、MIT.nano は 150 を超えるツールや機器を使用して MIT のさまざまな分野の研究者をサポートするまでに成長しました。 技術チームは新しい装置と古い装置を混在させて維持しており、ナノスケール研究の応用が半導体産業の本来の範囲をはるかに超えて拡大したため、一部の装置は再利用されました。 長年の技術スタッフの中には、まるで旧友のようにツールについて話す人もいます。 ターナーは、かつてメンテナンスしていたダイシングソーに対してある種の懐かしさを表現しています。 記録上、「新しい」ものは 17 年前のものです。 「私はそれに向けて取り組んでいます」と彼は言います。

永続的なつながり

ビッキエリ氏の数えによれば、彼は 100 件以上の博士論文の弁論に出席しています。 彼と彼の同僚にとって、これらのプレゼンテーションは研究室でのコラボレーションの満足のいく集大成となることがよくあります。

「この素晴らしいスタッフのグループが長年にわたり学生たちに提供してきた指導には計り知れない価値がありました」と、マサチューセッツ工科大学工学部学部長で電気工学およびコンピューターサイエンスのヴァネヴァー・ブッシュ教授であるアナンサ・チャンドラカサン氏は述べています。 「学部生へのツールや高度な概念の紹介から、何百人もの博士課程の学生の論文完成の支援まで。」

博士課程の候補者は、論文の中で特定のスタッフに感謝することがよくあります。 Paul McGrath は、現在 Advanced Micro Devices の CEO である Lisa T. Su '90、SM '91、PhD '94 によって認められた人物の 1 人です。 ほぼ30年後、彼は2022年に第12号棟に彼女の名前を記す式典で彼女に挨拶していることに気づいた。

現在は退職しているマクグラス氏は、1979 年に着任して以来、MIT.nano スタッフの中で最長の MIT 在職期間を誇っています。何が彼を 40 年間も MIT に留まらせたのかと尋ねると、マクグラス氏の答えはシンプルです。「毎日、たくさんの興味深いことが起こっています。 」と彼は振り返る。 「この地球上では毎日何か新しいことを学べると言われていますが、MITで働いていれば、目と耳を澄ませていれば毎時間何か新しいことを学ぶことができます。」

真空の専門家であるエリック・リム氏は、2004 年に MIT に来たときに残した企業界の敵対的な力関係を懐かしんでいないと語ります。長年にわたり、彼のチームは互いにバックアップし、数え切れないほどの食事をしながら、それぞれの専門知識の利点を共有してきました。そして冗談。 リム氏は、ファブ環境には学生との永続的なつながりにもつながる何かがあると語ります。 「それは、プロセス開発の苦労やツールの問題を共有し、協力して解決することから生まれると思います。」

マーク・モンドルは 1990 年から MIT に在籍しており、元教え子たちが子供たちを連れて大学訪問に戻ってくるのを目にするほど長くなりました。 MIT.nano に移転する前は 39 号館で NanoStructures Lab を運営していた彼は、NSL の卒業生数名が他の大学に採用された際に本格的に仕事を始めるのにも貢献しました。「長年にわたり、何度も電話を受けてきました。マーク、研究室で使用したツールは何ですか? このプロセスはどのように設定しましたか?」

研究専門家のゲイリー・リゴット氏が、2018年の移転に備えて古いスペースを掃除していたとき、過去の実験の手書きメモが書かれたノートの山を見つけた。 自分と学生の間の年齢差は広がっているにもかかわらず、「私は 20 年前と同じ支援をしています」とリゴット氏は言います。 「私たちは生徒たちの成功を手助けしたいと思っています。」

ポエッセも同意します。「建物の外から覗いている人にとって、おそらく最大の驚きは、建物の中にこの緊密なチームがあるということだと思います。誰も隙間をすり抜けることはありません。生徒であろうと生徒同士であろうと、誰もが気を配っています。」

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